采用离子束辅助沉积(IBAD)技术制备氮掺杂CeO₂薄膜并对其光催化性能进行了研究。采用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外可见吸收光谱(UV-Vis)对制备的薄膜进行了表征。实验结果表明，通过IBAD技术制备氮掺杂CeO₂薄膜的方法可以实现体相均匀氮掺杂，且掺氮量远高于传统氮掺杂方法。SEM结果表明，氮离子束轰击作用并没有改变CeO₂的晶体结构，但是会改变CeO₂的结晶度和晶格参数，同时，样品表面变得更光滑、粒径更小。另外，该方法使CeO₂薄膜的可见光吸收边从370 nm红移到480 nm，增加了其可见光吸收性能。光催化降解亚甲蓝测试结果显示，在可见光下催化120 min时，溶液中的亚甲蓝降解率已经高于90%，并在6次循环稳定性测试后降解率保持在86%左右，显示出良好的光催化稳定性。