超支化聚酯微光学光致抗蚀剂

引用本文: 冯宗财, 赵凌, 王跃川, 杜春雷. 超支化聚酯微光学光致抗蚀剂[J]. 应用化学, 2006, 23(7): 762-765. shu

Citation: FENG Zong-Cai, ZHAO Ling, WANG Yue-Chuan, DU Chun-Lei. Resists from Hyperbranched Polyesters for Micro-optics[J]. Chinese Journal of Applied Chemistry, 2006, 23(7): 762-765. shu

超支化聚酯微光学光致抗蚀剂

冯宗财 ^a, ,
赵凌 ^b, ,
王跃川 ^{b,
,} ,
杜春雷 ^c,

1.
a 湛江师范学院化学系湛江;
2.
b 四川大学高分子材料工程国家重点实验室成都 610065;
3.
c 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室成都

通讯作者: 王跃川,男,1958年生,教授,博士生导师;E-mail:wangyc@scu.edu.cn;研究方向:光电功能高分子材料

基金项目:
教育部骨干教师计划资助

教育部博士点基金资助项目

摘要: 由链末端含有-COOH、-OH和丙烯酰氧基的超支化聚合物、多官能丙烯酸酯和光引发剂三组分组成光致抗蚀剂。在玻璃片上成膜后硬度可达到HB~H的铅笔硬度。抗蚀剂膜用混合UV光源曝光和四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液显影可获得E₀约为5.5×10^-3 J/cm²的灵敏度和γ约为8的高反差。其曝光的灵敏度和反差γ可由显影液和光引发剂调节。并且显示出刻蚀深度随曝光能量呈现线性变化的关系。此特性使得该类抗蚀剂可用于微光学元件加工,并可对其表面形状进行控制。使用该类抗蚀剂,通过移动掩膜曝光制备了200 μm×200 μm的微透镜阵列。

关键词:

English

Resists from Hyperbranched Polyesters for Micro-optics

1.
a Department of Chemistry, Zhanjiang Normal College, Zhanjiang 524048;
2.
b State Key Laboratory of Polymer Materials and Engineering, Sichuan University, Chengdu 610065;
3.
c State Key Laboratory of Optical Technology for Micro-Fabrication, Opt-Electronics Institutc, Chinese Academy of Sciences, Chengdu

Corresponding author: 王跃川,男,1958年生,教授,博士生导师;E-mail:wangyc@scu.edu.cn;研究方向:光电功能高分子材料

Received Date: 24 July 2005
Fund Project:
教育部骨干教师计划资助

教育部博士点基金资助项目

Abstract: Three-component photoresists were prepared from hyperbranched polyester,multifunctional acrylate monomer and photoinitiator.The hyperbranched resin had -COOH,-OH and methacryloxy groups at their chain ends.The dried resist on glass substrate showed an H~HB pencil hardness.A high sensitivity with E₀~5.5×10^-3 J/cm² and a high contrast with γ~8 were obtained for the resist exposed with a mixed UV light and developed with TMAH aqueous solution.Sensitivity and contrast upon UV exposure were tunable by development solution and the amount of photoinitiator.The resist exhibited a unique linear relationship between exposure energy and etching depth.This property provides a controlling of surface profile of micro optical elements fabricated with photoresists.Microlens arrays(200 μm×200 μm) were prepared from these photoresists with a moving-mask.

Key words:

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通讯作者: 陈斌, bchen63@163.com

1.
沈阳化工大学材料科学与工程学院沈阳 110142

超支化聚酯微光学光致抗蚀剂

通讯作者: 王跃川,男,1958年生,教授,博士生导师;E-mail:wangyc@scu.edu.cn;研究方向:光电功能高分子材料

English

Resists from Hyperbranched Polyesters for Micro-optics

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