石墨烯晶圆的制备:从高品质到规模化

姜蓓 孙靖宇 刘忠范

引用本文: 姜蓓, 孙靖宇, 刘忠范. 石墨烯晶圆的制备:从高品质到规模化[J]. 物理化学学报, 2022, 38(2): 2007068-0. doi: 10.3866/PKU.WHXB202007068 shu
Citation:  Bei Jiang, Jingyu Sun, Zhongfan Liu. Synthesis of Graphene Wafers: from Lab to Fab[J]. Acta Physico-Chimica Sinica, 2022, 38(2): 2007068-0. doi: 10.3866/PKU.WHXB202007068 shu

石墨烯晶圆的制备:从高品质到规模化

    作者简介:
    孙靖宇,1986年出生。2013年获牛津大学博士学位;现为苏州大学教授、博士生导师,北京石墨烯研究院研究员、课题组长。主要研究方向为石墨烯晶圆、石墨烯玻璃、烯碳能源材料的可控直接制备;
    刘忠范,1962年出生。1990年获东京大学博士学位;现为中国科学院院士,北京大学教授、博士生导师,北京石墨烯研究院院长。主要研究方向为石墨烯的CVD生长方法与应用;
    通讯作者: 孙靖宇, sunjy86@suda.edu.cn; 刘忠范, zfliu@pku.edu.cn
  • 基金项目:

    国家重点基础研究发展规划项目(973) 2016YFA0200103

    国家自然科学基金 61527814

    国家自然科学基金 51702225

    北京分子科学国家研究中心 BNLMS-CXTD-202001

    北京市科学技术委员会 Z191100000819004

摘要: 石墨烯晶圆是引领未来的战略材料,在集成电路、微机电系统和传感器等领域具有广阔的应用前景。实现石墨烯晶圆广泛应用的前提是高品质材料的规模化制备。可控性高、工艺兼容性强、成本低的化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)法,是高品质石墨烯晶圆规模化制备的首选方法。本文将综述石墨烯晶圆的CVD制备进展:首先探讨石墨烯晶圆的制备需求,从实用牵引和应用场景出发,提出石墨烯晶圆的制备品质等级;随后重点介绍石墨烯的晶圆级制备方法和石墨烯晶圆材料的规模化制备技术;最后,对石墨烯晶圆可行的制备路线进行总结,并展望未来可能的发展方向。

English

    1. [1]

      Novoselov, K. S.; Geim, A. K.; Morozov, S. V.; Jiang, D.; Zhang, C.; Dubonos, S. V.; Grigorieva, I. V.; Firsov, A. A. Science 2004, 306, 666. doi: 10.1126/science.1102896

    2. [2]

      Bonaccorso, F.; Sun, Z.; Hasan, T.; Ferrari, A. C. Nat. Photonics 2010, 4, 611. doi: 10.1038/nphoton.2010.186

    3. [3]

      Akinwande, D.; Huyghebaert, C.; Wang, C. H.; Serna, M. I.; Goossens, S.; Li, L. J.; Wong, H. P.; Koppens, F. H. L. Nature 2019, 573, 507. doi: 10.1038/s41586-019-1573-9

    4. [4]

      Chen, Z. L.; Liu, Z. Q.; Wei, T. B.; Yang, S.; Dou, Z.; Wang, Y.; Ci, H.; Chang, H.; Qi, Y.; Yan, J.; et al. Adv. Mater. 2019, 31, 1807345. doi: 10.1002/adma.201807345

    5. [5]

      Qi, Y.; Wang, Y. Y.; Pang, Z. Q.; Dou, Z. P.; Wei, T. B.; Gao, P.; Zhang, S. S.; Xu, X. Z.; Chang, Z. H.; Deng, B.; et al. J. Am. Chem. Soc. 2018, 140, 11935. doi: 10.1021/jacs.8b03871

    6. [6]

      Chen, Z. L.; Zhang, X.; Dou, Z. P.; Wei, T. B.; Liu, Z. Q.; Qi, Y.; Ci, H. N.; Wang, Y. Y.; Li, Y.; Chang, H. L.; et al. Adv. Mater. 2018, 30, 1801608. doi: 10.1002/adma.201801608

    7. [7]

      陈召龙, 高鹏, 刘忠范. 物理化学学报, 2020, 36, 1907004. ] doi: 10.3866/PKU.WHXB201907004Chen, Z. L.; Gao, P.; Liu, Z. F. Acta Phys. -Chim. Sin. 2020, 36, 1907004. doi: 10.3866/PKU.WHXB201907004

    8. [8]

      Novoselov, K. S.; Fal'ko, V. I.; Colombo, L.; Gellert, P. R.; Schwab, M. G.; Kim, K. Nature 2012, 490, 192. doi: 10.1038/nature11458

    9. [9]

      Lin, L.; Deng, B.; Sun, J. Y.; Peng, H. L.; Liu, Z. F. Chem. Rev. 2018, 118, 9281. doi: 10.1021/acs.chemrev.8b00325

    10. [10]

      Zhang, Z. P.; Zhou, F.; Yang, P. F.; Jiang, B.; Hu, J. Y.; Gao, X.; Zhang, Y. F. Adv. Opt. Mater. 2020, 8, 2000166. doi: 10.1002/adom.202000166

    11. [11]

      Zhang, Y. B.; Tan, Y. W.; Stormer, H. L.; Kim, P. Nature 2005, 438, 201. doi: 10.1038/nature04235

    12. [12]

      Novoselov, K. S.; Geim, A. K.; Morozov, S. V.; Jiang, D.; Katsnelson, M. I.; Grigorieva, I. V.; Dubonos, S. V.; Firsov, A. A. Nature 2005, 438, 197. doi: 10.1038/nature04233

    13. [13]

      Rycerz, A.; Tworzydło, J.; Beenakker, C. W. J. Nat. Phys. 2007, 3, 172. doi: 10.1038/nphys547

    14. [14]

      Akinwande, D.; Petrone, N.; Hone, J. Nat. Commun. 2014, 5, 5678. doi: 10.1038/ncomms6678

    15. [15]

      Wang, Q. H.; Kalantar-Zadeh, K.; Kis, A.; Coleman, J. N.; Strano, M. S. Nat. Nanotechnol. 2012, 7, 699. doi: 10.1038/nnano.2012.193

    16. [16]

      Emtsev, K. V.; Bostwick, A.; Horn, K.; Jobst, J.; Kellogg, G. L.; Ley, L.; McChesney, J. L.; Ohta, T.; Reshanov, S. A.; Rohrl, J.; et al. Nat. Mater. 2009, 8, 203. doi: 10.1038/nmat2382

    17. [17]

      Juvaid, M. M.; Sarkar, S.; Gogoi, P. K.; Ghosh, S.; Annamalai, M.; Lin, Y. C.; Prakash, S.; Goswami, S.; Li, C.; Hooda, S.; et al. ACS Nano 2020, 14, 3290. doi: 10.1021/acsnano.9b08916

    18. [18]

      Berger, C.; Song, Z.; Li, X.; Wu, X.; Brown, N.; Naud, C.; Mayou, D.; Li, T.; Hass, J.; Marchenkov, A. N.; et al. Science 2006, 312, 1191. doi: 10.1126/science.1125925

    19. [19]

      Li, X.; Cai, W.; An, J.; Kim, S.; Nah, J.; Yang, D.; Piner, R.; Velamakanni, A.; Jung, I.; Tutuc, E.; et al. Science 2009, 324, 1312. doi: 10.1126/science.1171245

    20. [20]

      Reina, A.; Jia, X.; Ho, J.; Nezich, D.; Son, H.; Bulovic, V.; Dresselhaus, M. S.; Kong, J. Nano Lett. 2009, 9, 30. doi: 10.1021/nl801827v

    21. [21]

      Nguyen, V. L.; Lee, Y. H. Small 2015, 11, 3512. doi: 10.1002/smll.201500147

    22. [22]

      Lin, L.; Peng, H. L.; Liu, Z. F. Nat. Mater. 2019, 18, 520. doi: 10.1038/s41563-019-0341-4

    23. [23]

      Yan, K.; Fu, L.; Peng, H. L.; Liu, Z. F. Acc. Chem. Res. 2013, 46, 2263. doi: 10.1021/ar400057n

    24. [24]

      Muñoz, R.; Gómez-Aleixandre, C. Chem. Vap. Depos. 2013, 19, 297. doi: 10.1002/cvde.201300051

    25. [25]

      Li, X. S.; Colombo, L.; Ruoff, R. S. Adv. Mater. 2016, 28, 6247. doi: 10.1002/adma.201504760

    26. [26]

      Tetlow, H.; Posthuma de Boer, J.; Ford, I. J.; Vvedensky, D. D.; Coraux, J.; Kantorovich, L. Phys. Rep. 2014, 542, 195. doi: 10.1016/j.physrep.2014.03.003

    27. [27]

      Neumaier, D.; Pindl, S.; Lemme, M. C. Nat. Mater. 2019, 18, 520. doi: 10.1038/s41563-019-0341-4

    28. [28]

      Morozov, S. V.; Novoselov, K. S.; Katsnelson, M. I.; Schedin, F.; Ponomarenko, L. A.; Jiang, D.; Geim, A. K. Phys. Rev. Lett. 2006, 97, 016801. doi: 10.1103/PhysRevLett.97.016801

    29. [29]

      Guisinger, N. P.; Rutter, G. M.; Crain, J. N.; First, P. N.; Stroscio, J. A. Nano Lett. 2009, 9, 1462. doi: 10.1021/nl803331q

    30. [30]

      Hu, S.; Lozada-Hidalgo, M.; Wang, F. C.; Mishchenko, A.; Schedin, F.; Nair, R. R.; Hill, E. W.; Boukhvalov, D. W.; Katsnelson, M. I.; Dryfe, R. A.; et al. Nature 2014, 516, 227. doi: 10.1038/nature14015

    31. [31]

      Xia, F. N.; Wang, H.; Xiao, D.; Dubey, M.; Ramasubramaniam, A. Nat. Photonics 2014, 8, 899. doi: 10.1038/nphoton.2014.271

    32. [32]

      Nair, R. R.; Blake, P.; Grigorenko, A. N.; Novoselov, K. S.; Booth, T. J.; Stauber, T.; Peres, N. M. R.; Geim, A. K. Science 2008, 320, 1308. doi: 10.1126/science.1156965

    33. [33]

      Dean, C. R.; Young, A. F.; Meric, I.; Lee, C.; Wang, L.; Sorgenfrei, S.; Watanabe, K.; Taniguchi, T.; Kim, P.; Shepard, K. L.; et al. Nat. Nanotechnol. 2010, 5, 722. doi: 10.1038/nnano.2010.172

    34. [34]

      Kiraly, B.; Jacobberger, R. M.; Mannix, A. J.; Campbell, G. P.; Bedzyk, M. J.; Arnold, M. S.; Hersam, M. C.; Guisinger, N. P. Nano Lett. 2015, 15, 7414. doi: 10.1021/acs.nanolett.5b02833

    35. [35]

      Xia, F. N.; Farmer, D. B.; Lin, Y. M.; Avouris, P. Nano Lett. 2010, 10, 715. doi: 10.1021/nl9039636

    36. [36]

      Withers, F.; Del Pozo-Zamudio, O.; Mishchenko, A.; Rooney, A. P.; Gholinia, A.; Watanabe, K.; Taniguchi, T.; Haigh, S. J.; Geim, A. K.; Tartakovskii, A. I.; et al. Nat. Mater. 2015, 14, 301. doi: 10.1038/nmat4205

    37. [37]

      Balandin, A. A.; Ghosh, S.; Bao, W.; Calizo, I.; Teweldebrhan, D.; Miao, F.; Lau, C. N. Nano Lett. 2008, 8, 902. doi: 10.1021/nl0731872

    38. [38]

      Ghosh, S.; Calizo, I.; Teweldebrhan, D.; Pokatilov, E. P.; Nika, D. L.; Balandin, A. A.; Bao, W.; Miao, F.; Lau, C. N. Appl. Phys. Lett. 2008, 92, 151911. doi: 10.1063/1.2907977

    39. [39]

      Pop, E.; Varshney, V.; Roy, A. K. MRS Bull. 2012, 37, 1273. doi: 10.1557/mrs.2012.203

    40. [40]

      Hao, Y. F.; Bharathi, M. S.; Wang, L.; Liu, Y. Y.; Chen, H.; Nie, S.; Wang, X. H.; Chou, H.; Tan, C.; Fallahazad, B.; et al. Science 2013, 342, 720. doi: 10.1126/science.1243879

    41. [41]

      Lin, L.; Li, J. Y.; Ren, H. Y.; Koh, A. L.; Kang, N.; Peng, H. L.; Xu, H. Q.; Liu, Z. F. ACS Nano 2016, 10, 2922. doi: 10.1021/acsnano.6b00041

    42. [42]

      Zhou, H. L.; Yu, W. J.; Liu, L. X.; Cheng, R.; Chen, Y.; Huang, X. Q.; Liu, Y.; Wang, Y.; Huang, Y.; Duan, X. F. Nat. Commun. 2013, 4, 2096. doi: 10.1038/ncomms3096

    43. [43]

      Wu, T. R.; Zhang, X. F.; Yuan, Q. H.; Xue, J. C.; Lu, G. Y.; Liu, Z. H.; Wang, H. S.; Wang, H. M.; Ding, F.; Yu, Q. K.; et al. Nat. Mater. 2016, 15, 43. doi: 10.1038/nmat4477

    44. [44]

      Ding, D.; Solis-Fernandez, P.; Hibino, H.; Ago, H. ACS Nano 2016, 10, 11196. doi: 10.1021/acsnano.6b06265

    45. [45]

      Vlassiouk, I. V.; Stehle, Y.; Pudasaini, P. R.; Unocic, R. R.; Rack, P. D.; Baddorf, A. P.; Ivanov, I. N.; Lavrik, N. V.; List, F.; Gupta, N.; et al. Nat. Mater. 2018, 17, 318. doi: 10.1038/s41563-018-0019-3

    46. [46]

      Xu, X. Z.; Zhang, Z. H.; Qiu, L.; Zhuang, J. N.; Zhang, L.; Wang, H.; Liao, C. N.; Song, H. D.; Qiao, R. X.; Gao, P.; et al. Nat. Nanotechnol. 2016, 11, 930. doi: 10.1038/nnano.2016.132

    47. [47]

      Wang, H.; Xu, X. Z.; Li, J. Y.; Lin, L.; Sun, L. Z.; Sun, X.; Zhao, S. L.; Tan, C. W.; Chen, C.; Dang, W. H.; et al. Adv. Mater. 2016, 28, 8968. doi: 10.1002/adma.201603579

    48. [48]

      Lin, L.; Sun, L. Z.; Zhang, J. C.; Sun, J. Y.; Koh, A. L.; Peng, H. L.; Liu, Z. F. Adv. Mater. 2016, 28, 4671. doi: 10.1002/adma.201600403

    49. [49]

      Guo, W.; Jing, F.; Xiao, J.; Zhou, C.; Lin, Y. W.; Wang, S. Adv. Mater. 2016, 28, 3152. doi: 10.1002/adma.201503705

    50. [50]

      Guo, W.; Wu, B.; Wang, S.; Liu, Y. Q. ACS Nano 2018, 12, 1778. doi: 10.1021/acsnano.7b08548

    51. [51]

      Brown, L.; Lochocki, E. B.; Avila, J.; Kim, C. J.; Ogawa, Y.; Havener, R. W.; Kim, D. K.; Monkman, E. J.; Shai, D. E.; Wei, H. I.; et al. Nano Lett. 2014, 14, 5706. doi: 10.1021/nl502445j

    52. [52]

      Nguyen, V. L.; Shin, B. G.; Duong, D. L.; Kim, S. T.; Perello, D.; Lim, Y. J.; Yuan, Q. H.; Ding, F.; Jeong, H. Y.; Shin, H. S.; et al. Adv. Mater. 2015, 27, 1376. doi: 10.1002/adma.201404541

    53. [53]

      Nguyen, V. L.; Perello, D. J.; Lee, S.; Nai, C. T.; Shin, B. G.; Kim, J. G.; Park, H. Y.; Jeong, H. Y.; Zhao, J.; Vu, Q. A.; et al. Adv. Mater. 2016, 28, 8177. doi: 10.1002/adma.201601760

    54. [54]

      Xu, X. Z.; Zhang, Z. H.; Dong, J. C.; Yi, D.; Niu, J. J.; Wu, M. H.; Lin, L.; Yin, R. K.; Li, M. Q.; Zhou, J. Y.; et al. Sci. Bull. 2017, 62, 1074. doi: 10.1016/j.scib.2017.07.005

    55. [55]

      Lee, J. H.; Lee, E. K.; Joo, W. J.; Jang, Y.; Kim, B. S.; Lim, J. Y.; Choi, S. H.; Ahn, S. J.; Ahn, J. R.; Park, M. H.; et al. Science 2014, 344, 286. doi: 10.1126/science.1252268

    56. [56]

      Dai, J. Y.; Wang, D. X.; Zhang, M.; Niu, T. C.; Li, A.; Ye, M.; Qiao, S.; Ding, G. Q.; Xie, X. M.; Wang, Y. Q.; et al. Nano Lett. 2016, 16, 3160. doi: 10.1021/acs.nanolett.6b00486

    57. [57]

      Huang, P. Y.; Ruiz-Vargas, C. S.; van der Zande, A. M.; Whitney, W. S.; Levendorf, M. P.; Kevek, J. W.; Garg, S.; Alden, J. S.; Hustedt, C. J.; Zhu, Y.; et al. Nature 2011, 469, 389. doi: 10.1038/nature09718

    58. [58]

      Banhart, F.; Kotakoski, J.; Krasheninnikov, A. V. ACS Nano 2011, 5, 26. doi: 10.1021/nn102598m

    59. [59]

      Lin, Y. C.; Lu, C. C.; Yeh, C. H.; Jin, C.; Suenaga, K.; Chiu, P. W. Nano Lett. 2012, 12, 414. doi: 10.1021/nl203733r

    60. [60]

      Zhang, Y. F.; Gao, T.; Gao, Y. B.; Xie, S. B.; Ji, Q. Q.; Yan, K.; Peng, H. L.; Liu, Z. F. ACS Nano 2011, 5, 4014. doi: 10.1021/nn200573v

    61. [61]

      Zhu, W.; Low, T.; Perebeinos, V.; Bol, A. A.; Zhu, Y.; Yan, H.; Tersoff, J.; Avouris, P. Nano Lett. 2012, 12, 3431. doi: 10.1021/nl300563h

    62. [62]

      Yang, W.; Chen, G. R.; Shi, Z. W.; Liu, C. C.; Zhang, L. C.; Xie, G. B.; Cheng, M.; Wang, D. M.; Yang, R.; Shi, D. X.; et al. Nat. Mater. 2013, 12, 792. doi: 10.1038/nmat3695

    63. [63]

      Shin, B. G.; Boo, D. H.; Song, B.; Jeon, S.; Kim, M.; Park, S.; An, E. S.; Kim, J. S.; Song, Y. J.; Lee, Y. H. ACS Nano 2019, 13, 6662. doi: 10.1021/acsnano.9b00976

    64. [64]

      Chen, S. W.; Han, Z.; Elahi, M. M.; Habib, K. M.; Wang, L.; Wen, B.; Gao, Y. D.; Taniguchi, T.; Watanabe, K.; Hone, J.; et al. Science 2016, 353, 1522. doi: 10.1126/science.aaf5481

    65. [65]

      Deng, B.; Pang, Z. Q.; Chen, S. L.; Li, X.; Meng, C. X.; Li, J.; Liu, M.; Wu, J.; Qi, Y.; Dang, W.; et al. ACS Nano 2017, 11, 12337. doi: 10.1021/acsnano.7b06196

    66. [66]

      Yuan, G.; Lin, D.; Wang, Y.; Huang, X.; Chen, W.; Xie, X.; Zong, J.; Yuan, Q. Q.; Zheng, H.; Wang, D.; et al. Nature 2020, 577, 204. doi: 10.1038/s41586-019-1870-3

    67. [67]

      Lozada-Hidalgo, M.; Hu, S.; Marshall, O.; Mishchenko, A.; Grigorenko, A. N.; Dryfe, R. A.; Radha, B.; Grigorieva, I. V.; Geim, A. K. Science 2016, 351, 68. doi: 10.1126/science.aac9726

    68. [68]

      Mertens, S. F.; Hemmi, A.; Muff, S.; Groning, O.; De Feyter, S.; Osterwalder, J.; Greber, T. Nature 2016, 534, 676. doi: 10.1038/nature18275

    69. [69]

      Elias, D. C.; Nair, R. R.; Mohiuddin, T. M. G.; Morozov, S. V.; Blake, P.; Halsall, M. P.; Ferrari, A. C.; Boukhvalov, D. W.; Katsnelson, M. I.; Geim, A. K.; et al. Science 2009, 323, 610. doi: 10.1126/science.1167130

    70. [70]

      Zhang, Y.; Tang, T. T.; Girit, C.; Hao, Z.; Martin, M. C.; Zettl, A.; Crommie, M. F.; Shen, Y. R.; Wang, F. Nature 2009, 459, 820. doi: 10.1038/nature08105

    71. [71]

      Ju, L.; Wang, L.; Cao, T.; Taniguchi, T.; Watanabe, K.; Louie, S. G.; Rana, F.; Park, J.; Hone, J.; Wang, F.; McEuen, P. L. Science 2017, 358, 907. doi: 10.1126/science.aam9175

    72. [72]

      Zibrov, A. A.; Kometter, C.; Zhou, H.; Spanton, E. M.; Taniguchi, T.; Watanabe, K.; Zaletel, M. P.; Young, A. F. Nature 2017, 549, 360. doi: 10.1038/nature23893

    73. [73]

      Yan, J.; Kim, M. H.; Elle, J. A.; Sushkov, A. B.; Jenkins, G. S.; Milchberg, H. M.; Fuhrer, M. S.; Drew, H. D. Nat. Nanotechnol. 2012, 7, 472. doi: 10.1038/nnano.2012.88

    74. [74]

      Ju, L.; Shi, Z. W.; Nair, N.; Lv, Y. C.; Jin, C. H.; Velasco Jr, J.; Ojeda-Aristizabal, C.; Bechtel, H. A.; Martin, M. C.; Zettl, A.; Analytis, J.; Wang, F. Nature 2015, 520, 650. doi: 10.1038/nature14364

    75. [75]

      Ma, W.; Chen, M. L.; Yin, L.; Liu, Z.; Li, H.; Xu, C.; Xin, X.; Sun, D. M.; Cheng, H. M.; Ren, W. Nat. Commun. 2019, 10, 2809. doi: 10.1038/s41467-019-10691-2

    76. [76]

      Lee, S.; Lee, K.; Zhong, Z. H. Nano Lett. 2010, 10, 4702. doi: 10.1021/nl1029978

    77. [77]

      Liu, L. X.; Zhou, H. L.; Cheng, R.; Yu, W. J.; Liu, Y.; Chen, Y.; Shaw, J.; Zhong, X.; Huang, Y.; Duan, X. F. ACS Nano 2012, 6, 8241. doi: 10.1021/nn302918x

    78. [78]

      Zhao, P.; Kim, S.; Chen, X.; Einarsson, E.; Wang, M.; Song, Y. N.; Wang, H. T.; Chiashi, S.; Xiang, R.; Maruyama, S. ACS Nano 2014, 8, 11631. doi: 10.1021/nn5049188

    79. [79]

      Hao, Y. F.; Wang, L.; Liu, Y. Y.; Chen, H.; Wang, X. H.; Tan, C.; Nie, S.; Suk, J. W.; Jiang, T. F.; Liang, T. F.; et al. Nat. Nanotechnol. 2016, 11, 426. doi: 10.1038/nnano.2015.322

    80. [80]

      Wu, J.; Wang, J. Y.; Pan, D. F.; Li, Y. C.; Jiang, C. H.; Li, Y. B.; Jin, C.; Wang, K.; Song, F. Q.; Wang, G. H.; et al. Adv. Funct. Mater. 2017, 27, 1605927. doi: 10.1002/adfm.201605927

    81. [81]

      Yang, C.; Wu, T. R.; Wang, H. M.; Zhang, G. H.; Sun, J. L.; Lu, G. Y.; Niu, T. C.; Li, A.; Xie, X. M.; Jiang, M. H. Small 2016, 12, 2009. doi: 10.1002/smll.201503658

    82. [82]

      Kim, Y.; Cruz, S. S.; Lee, K.; Alawode, B. O.; Choi, C.; Song, Y.; Johnson, J. M.; Heidelberger, C.; Kong, W.; Choi, S.; et al. Nature 2017, 544, 340. doi: 10.1038/nature22053

    83. [83]

      Chen, Y.; Gong, X. L.; Gai, J. G. Adv. Sci. 2016, 3, 1500343. doi: 10.1002/advs.201500343

    84. [84]

      Pang, J. B.; Mendes, R. G.; Wrobel, P. S.; Wlodarski, M. D.; Ta, H. Q.; Zhao, L.; Giebeler, L.; Trzebicka, B.; Gemming, T.; Fu, L.; et al. ACS Nano 2017, 11, 1946. doi: 10.1021/acsnano.6b08069

    85. [85]

      Chen, X. D.; Chen, Z. L.; Jiang, W. S.; Zhang, C. H.; Sun, J. Y.; Wang, H. H.; Xin, W.; Lin, L.; Priydarshi, M. K.; Yang, H.; et al. Adv. Mater. 2017, 29, 1603428. doi: 10.1002/adma.201603428

    86. [86]

      Sun, J. Y.; Chen, Y. B.; Priydarshi, M. K.; Chen, Z.; Bachmatiuk, A.; Zou, Z. Y.; Chen, Z. L.; Song, X. J.; Gao, Y. F.; Rümmeli, M. H.; et al. Nano Lett. 2015, 15, 5846. doi: 10.1021/acs.nanolett.5b01936

    87. [87]

      陈旭东, 陈召龙, 孙靖宇, 张艳锋, 刘忠范. 物理化学学报, 2016, 32, 14. doi: 10.3866/PKU.WHXB201511133Chen, X. D.; Chen, Z. L.; Sun, J. Y.; Zhang, Y. F.; Liu, Z. F. Acta Phys. -Chim. Sin. 2016, 32, 14. doi: 10.3866/PKU.WHXB201511133

    88. [88]

      Hwang, J.; Kim, M.; Campbell, D.; Alsalman, H. A.; Kwak, J. Y.; Shivaraman, S.; Woll, A. R.; Singh, A. K.; Hennig, R. G.; Gorantla, S.; et al. ACS Nano 2013, 7, 385. doi: 10.1021/nn305486x

    89. [89]

      Tang, S. J.; Wang, H. M.; Wang, H. S.; Sun, Q. J.; Zhang, X. Y.; Cong, C. X.; Xie, H.; Liu, X. Y.; Zhou, X. H.; Huang, F. Q.; et al. Nat. Commun. 2015, 6, 6499. doi: 10.1038/ncomms7499

    90. [90]

      Rümmeli, M. H.; Bachmatiuk, A.; Scott, A.; Börrnert, F.; Warner, J. H.; Hoffman, V.; Lin, J.; Cuniberti, G.; Büchner, B. ACS Nano 2011, 4, 4206. doi: 10.1021/nn100971s

    91. [91]

      Sun, J. Y.; Gao, T.; Song, X. J.; Zhao, Y. F.; Lin, Y. W.; Wang, H. C.; Ma, D. L.; Chen, Y. B.; Xiang, W. F.; Wang, J.; et al. J. Am. Chem. Soc. 2014, 136, 6574. doi: 10.1021/ja5022602

    92. [92]

      Chen, J. Y.; Guo, Y. L.; Jiang, L. L.; Xu, Z. P.; Huang, L. P.; Xue, Y. Z.; Geng, D. C.; Wu, B.; Hu, W. P.; Yu, G.; Liu, Y. Q. Adv. Mater. 2014, 26, 1348. doi: 10.1002/adma.201304872

    93. [93]

      Chen, Y. B.; Sun, J. Y.; Gao, J. F.; Du, F.; Han, Q.; Nie, Y. F.; Chen, Z. L.; Bachmatiuk, A.; Priydarshi, M. K.; Ma, D. L.; et al. Adv. Mater. 2015, 27, 7839. doi: 10.1002/adma.201504229

    94. [94]

      Liu, Q. F.; Gong, Y. P.; Wang, T.; Chan, W. -L.; Wu, J. Carbon 2016, 96, 203. doi: 10.1016/j.carbon.2015.09.075

    95. [95]

      Jiang, B.; Zhao, Q. Y.; Zhang, Z. P.; Liu, B. Z.; Shan, J. Y.; Zhao, L.; Rümmeli, M. H.; Gao, X.; Zhang, Y. F.; Yu, T. J.; et al. Nano Res. 2020, 13, 1564. doi: 10.1007/s12274-020-2771-3

    96. [96]

      Mishra, N.; Forti, S.; Fabbri, F.; Martini, L.; McAleese, C.; Conran, B. R.; Whelan, P. R.; Shivayogimath, A.; Jessen, B. S.; Buss, L.; et al. Small 2019, 15, 1904906. doi: 10.1002/smll.201904906

    97. [97]

      Fauzi, F. B.; Ismail, E.; Ani, M. H.; Syed Abu Bakar, S. N.; Mohamed, M. A.; Majlis, B. Y.; Md Din, M. F.; Azam Mohd Abid, M. A. J. Mater. Res. 2018, 33, 1088. doi: 10.1557/jmr.2018.39

    98. [98]

      Choi, K.; Kim, J. W. Curr. Nanosci. 2014, 10, 135. doi: 1875-6786/14$58.00+.00

    99. [99]

      Coltrin, M. E.; Kee, R. J.; Miller, J. A. J. Electrochem. Soc. 1984, 131, 425.

    100. [100]

      Weatherup, R. S.; Dlubak, B.; Hofmann, S. ACS Nano 2012, 6, 9996. doi: 10.1021/nn303674g

    101. [101]

      Hu, B. S.; Ago, H.; Ito, Y.; Kawahara, K.; Tsuji, M.; Magome, E.; Sumitani, K.; Mizuta, N.; Ikeda, K.; Mizuno, S. Carbon 2012, 50, 57. doi: 10.1016/j.carbon.2011.08.002

    102. [102]

      Sherman, A. J. Electron. Mater. 1988, 17, 413.

    103. [103]

      Nie, S.; Wofford, J. M.; Bartelt, N. C.; Dubon, O. D.; McCarty, K. F. Phys. Rev. B 2011, 84, 155425. doi: 10.1103/PhysRevB.84.155425

    104. [104]

      Nai, C. T.; Xu, H.; Tan, S. J.; Loh, K. P. ACS Nano 2016, 10, 1681. doi: 10.1021/acsnano.5b07662

    105. [105]

      Gao, L. B.; Xu, H.; LI, L. J.; Yang, Y.; Fu, Q.; Bao, X. H.; Loh, K. P. 2D Mater. 2016, 3, 021001. doi: 10.1088/2053-1583/3/2/021001

    106. [106]

      Wang, X. L.; Yuan, Q. H.; Li, J.; Ding, F. Nanoscale 2017, 9, 11584. doi: 10.1039/c7nr02743e

    107. [107]

      Zhen, Z.; Li, X. S.; Zhu, H. W. Nano Today 2018, 22, 7. doi: 10.1016/j.nantod.2018.04.013

    108. [108]

      Deng, B.; Xin, Z. W.; Xue, R. W.; Zhang, S. S.; Xu, X. Z.; Gao, J.; Tang, J. L.; Qi, Y.; Wang, Y. N.; Zhao, Y.; et al. Sci. Bull. 2019, 64, 659. doi: 10.1016/j.scib.2019.04.030

    109. [109]

      Liu, Y. F.; Wu, T. R.; Yin, Y. L.; Zhang, X. F.; Yu, Q. K.; Searles, D. J.; Ding, F.; Yuan, Q. H.; Xie, X. M. Adv. Sci. 2018, 5, 1700961. doi: 10.1002/advs.201700961

    110. [110]

      Reuge, N.; Bacsa, R.; Serp, P.; Caussat, B. J. Phys. Chem. C 2009, 113, 19845. doi: 10.1021/jp9070955

    111. [111]

      Musso, S.; Porro, S.; Rovere, M.; Giorcelli, M.; Tagliaferro, A. J. Cryst. Growth 2008, 310, 477. doi: 10.1016/j.jcrysgro.2007.10.064

  • 加载中
计量
  • PDF下载量:  7
  • 文章访问数:  137
  • HTML全文浏览量:  12
文章相关
  • 发布日期:  2022-02-15
  • 收稿日期:  2020-07-25
  • 接受日期:  2020-08-19
  • 修回日期:  2020-08-18
  • 网络出版日期:  2020-08-21
通讯作者: 陈斌, bchen63@163.com
  • 1. 

    沈阳化工大学材料科学与工程学院 沈阳 110142

  1. 本站搜索
  2. 百度学术搜索
  3. 万方数据库搜索
  4. CNKI搜索

/

返回文章