像散位移显微镜的研制及教学设计——推荐一个化学测量学实验(微纳先进表征)

周丹 刘心月 郭子靖 杨建平 郭泽莹 任卓尔 俞娥 潘婷 任豆豆 曾智聪

引用本文: 周丹, 刘心月, 郭子靖, 杨建平, 郭泽莹, 任卓尔, 俞娥, 潘婷, 任豆豆, 曾智聪. 像散位移显微镜的研制及教学设计——推荐一个化学测量学实验(微纳先进表征)[J]. 大学化学, 2026, 41(6): 196-203. doi: 10.12461/PKU.DXHX202511180 shu
Citation:  Dan Zhou,  Xinyue Liu,  Zijing Guo,  Jianping Yang,  Zeying Guo,  Zhuoer Ren,  E Yu,  Ting Pan,  Doudou Ren,  Zhicong Zeng. Development and teaching design of astigmatic displacement microscopy: a recommended experiment for chemical metrology (micro-nano advanced characterization)[J]. University Chemistry, 2026, 41(6): 196-203. doi: 10.12461/PKU.DXHX202511180 shu

像散位移显微镜的研制及教学设计——推荐一个化学测量学实验(微纳先进表征)

    通讯作者: 潘婷,Email:pant20@lzu.edu.cn; 任豆豆,Email:120220905140@lzu.edu.cn; 曾智聪,Email:zengzc@lzu.edu.cn
  • 基金项目:

    国家自然科学基金(22574070);教育部化学“101 计划”——化学测量学实验课程建设项目;教育部第三批虚拟教研室建设试点——“101 计划”化学测量学实验课程虚拟教研室

摘要: 在现有的本科实验教学中,微纳表征常采用扫描探针显微技术、扫描电镜显微技术,而对于光学非接触式测量技术则存在空白。像散位移显微镜是一种基于像散测量的新技术,其具备光学非接触、扫描范围大、成像速度快和轴向纳米级分辨率等优势。为了将其引入化学“101计划”——化学测量学实验,本文自主研发了一款专为教学实验定制的像散位移显微镜仪器,并基于该仪器设计了一套完整的实验教学方案。本实验涉及“化学-光学-电子学-微纳表征”领域,通过开展“位移信号标定-三维成像-振动分析-膜厚测量”这四部分内容,激发学生对微纳表征前沿动态的思考,了解高精尖表征技术对于先进制造的重要性,并在动手实践过程中增强科学仪器自主国产化的信心,培养仪器类人才。

English

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  • 发布日期:  2026-05-12
  • 收稿日期:  2025-11-25
  • 修回日期:  2026-02-06
通讯作者: 陈斌, bchen63@163.com
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    沈阳化工大学材料科学与工程学院 沈阳 110142

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