在现有的本科实验教学中，微纳表征常采用扫描探针显微技术、扫描电镜显微技术，而对于光学非接触式测量技术则存在空白。像散位移显微镜是一种基于像散测量的新技术，其具备光学非接触、扫描范围大、成像速度快和轴向纳米级分辨率等优势。为了将其引入化学“101计划”——化学测量学实验，本文自主研发了一款专为教学实验定制的像散位移显微镜仪器，并基于该仪器设计了一套完整的实验教学方案。本实验涉及“化学-光学-电子学-微纳表征”领域，通过开展“位移信号标定-三维成像-振动分析-膜厚测量”这四部分内容，激发学生对微纳表征前沿动态的思考，了解高精尖表征技术对于先进制造的重要性，并在动手实践过程中增强科学仪器自主国产化的信心，培养仪器类人才。