Citation: YANG Chang-Hu, MA Zhong-Quan, LI Feng, HE Bo, YUAN Jian-Hui, ZHANG Zhen-Hua. Spectrum Analysis on Phase Transformations in TiO2 Thin Films[J]. Acta Physico-Chimica Sinica, 2010, 26(05): 1349-1354. doi: 10.3866/PKU.WHXB20100519
TiO2薄膜晶相转换的光谱分析
采用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上用旋涂法制备了TiO2薄膜样品, 对样品在800-1100 ℃范围内进行退火处理, 并对样品进行了拉曼光谱、透射光谱和荧光发光(PL)光谱测试. 拉曼谱测试表明, 随退火温度的升高, 样品由锐钛矿相经锐钛矿与金红石的混相最终变为金红石相. 透射谱测试表明, 样品的吸收带边随着样品的相转换而发生红移.在总的趋势上, 样品的折射率n随相转换而升高, 厚度d和带隙Eg随相转换而降低. 荧光发光光谱测试表明, 在557-570 nm 和794-812 nm范围内出现了两个发光光谱带. 随着相转换, 557-570 nm范围内的发光光谱强度由强到无, 而794-812 nm范围内的发光光谱强度由弱到强.
English
Spectrum Analysis on Phase Transformations in TiO2 Thin Films
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Key words:
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TiO2 thin film
- / Phase inversion
- / Spectrum
- / Sol-gel
- / Annealing
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